「激光技術」超精密加工領域頂尖團隊落地深圳華中科技大學研究院

來源:深圳華科研究院    關鍵詞:激光, , 激光技術,    發布時間:2019-05-07

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激光技術應用新方向——激光精密加工

從1960年第一臺紅寶石激光器誕生至今,激光技術幾乎覆蓋了生產生活的各個角落,從汽車制造、動力電池到手機制造、航空航天、醫療器械乃至國防軍事等,幾乎我們能想到的所有領域,都活躍著激光器的身影。對很多行業而言,激光技術更是一種不可或缺的支撐技術。眾所周知,“中國制造 2025”的核心是智能制造,智能制造的核心之一是光電技術,而光電技術的核心之一正是激光器。因此,激光行業是驅動制造業發展的一大核心力量,其重要性不言而喻。其中,尤以激光精密加工為代表的技術在電子、半導體、通訊、光存儲、微機械制造、生物、環境等行業進一步推廣和使用將為傳統加工方式創造前所未有的可能性。


激光超精密加工領域頂尖力量——甘棕松教授團隊

華中科技大學甘棕松教授致力研究超衍射極限光學精密技術,重點研究激光微納制造新技術的開發和及其在新一代信息技術中的應用。涉及領域包括三維納米光刻技術的開發、三維半導體微納器件的激光制造及其應用、光學大數據存儲技術、激光3D微納打印、高密度微納電子器件的激光制冷技術、大型科學與工程裝置中的大數據軟件技術等。其研究成果在三維芯片制造、光子芯片、大數據存儲、3D納米打印、仿生學等領域具有較強的國際影響力,并受到國際學術界、產業界和大眾媒體的多方關注。

近五年來,甘棕松教授以第一作者在Nature Communication、Science Advances、Applied Physics Letters、Optics Express等國際權威期刊共發表學術論文10余篇,其中ESI高被引用論文1篇。合著書籍章節2章,專著1部。研究成果被Nature Nanotechnology、Nature Materials等世界頂級期刊專題評論,評論為“該方法使得(激光制造)的特征尺寸和分辨率突破了光的衍射極限”。

此外,其在超衍射極限激光三維制造技術領域所取得的成果展示了單光盤1 PB(1000TB = 1,000,000 GB)存儲能力的技術飛躍,其相關研究成果被全球超過1000家新聞媒體報道和轉載。2014-2016年主持澳大利亞科學及工業教育基金(SIEF)項目1項(共41.1萬澳元),現主持和參與國家自然科學基金面上項目各1項。獲得2014年澳大利亞維多利亞州Victoria fellowship稱號,2017年湖北省楚天學子稱號。

(第20屆中國國際光電博覽會(GOIE)及2018全球光電子大會(OGC)上甘棕松教授發布納米光刻技術)


落地深圳——助力光電領域企業騰飛

甘棕松教授團隊于今年3月在深圳華中科技大學研究院成立激光超精密制造技術實驗室,旨在依托研究院平臺落地深圳為光學制造研究新原理和開發新技術,重點面向光學制造技術中的共性關鍵問題,探索面向產業化應用的解決方法。在其科研團隊已經取得的雙光束超衍射極限精密技術系列成果的基礎上,將雙光束超衍射極限精密技術應用于芯片制造技術,研發雙光束超衍射極限納米光刻技術原理樣機,利用該技術實現三維芯片制造并為其提供光學制冷技術途徑。

實驗室將引入甘棕松教授團隊自主研發的國際首臺商用化的雙光束超衍射極限激光直寫光刻系統和國內首臺商用化的基于熒光閃爍的超分辨顯微鏡,這兩套設備填補了國內在光學超精密制造和超精密檢測領域的空白。

科研團隊將通過與觸控屏,光通信等相關企業合作,實現激光超精密制造技術在觸控屏、引線鍵合、光芯片、3D微納米打印等領域的產學研轉化。


(Super Lithography 3D 納米光刻系統)

(Super Lithography 3D 納米光刻系統感光材料)

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